影響凈化車間使用的六個(gè)關(guān)鍵因素。
一,換風(fēng)。
成本因素自變量:
凈化室內(nèi)的氣體分配機(jī)械設(shè)備(一般是裝修吊頂過濾裝置)被設(shè)計(jì)成自噴式,用來提供統(tǒng)一、清潔已過慮的氣體。給房間補(bǔ)充的灰塵含量,讓人想起與普通淋浴頭相反的消防龍頭。該規(guī)范展示了潔凈室主要參數(shù)、等級(jí)分類和檢驗(yàn)方法的基本方針,但仍未說明如何經(jīng)濟(jì)發(fā)展合理地做到規(guī)范。因?yàn)槊恳粋€(gè)加工過程和潔凈室外的規(guī)定都不一樣,所以,可以選擇不同的循環(huán)含塵量,達(dá)到預(yù)期的自然環(huán)境規(guī)定。
生產(chǎn)車間空氣污染物的比例和具體顆粒的產(chǎn)生是危及潔凈室空氣通風(fēng)的關(guān)鍵因素。在加工過程中,消除顆粒的速度對(duì)其他因素沒有任何危害是非常關(guān)鍵的。其他會(huì)危及循環(huán)氣體總數(shù)的因素是:房屋結(jié)構(gòu)、機(jī)械設(shè)備位置、機(jī)械設(shè)備外部溫度、空氣對(duì)流、旋風(fēng)類型(單邊根據(jù)項(xiàng)目區(qū)域或全空間)、實(shí)際操作室內(nèi)空間和規(guī)章制度、應(yīng)用原材料和化學(xué)品等。
二、單邊,流場,垂直或水平旋風(fēng)。
在許多例子中,單邊旋風(fēng)分離器只應(yīng)用于小室內(nèi)空間和凈化車間的敏感區(qū)域,并應(yīng)用于微自然環(huán)境。空氣污染物的根源將存在于手套箱、過濾控制模塊等區(qū)域。大多數(shù)設(shè)計(jì)方案是單邊旋風(fēng)分離器清潔室外的總體規(guī)劃方案。只有在該區(qū)域沒有操作人員、生產(chǎn)線設(shè)備和排氣系統(tǒng)設(shè)備時(shí),才能完成單邊旋風(fēng)分離器。垂直或水平旋風(fēng)分離器的選擇取決于房屋結(jié)構(gòu)和機(jī)械設(shè)備的放置位置,流場可以帶走空氣污染物。
三、空氣凈化系統(tǒng)軟件。
根據(jù)潔凈室外的主要用途,也可以選擇其他機(jī)械設(shè)備。例如,在循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)加新風(fēng)系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件中,HEPA過濾裝置用碳吸附或類似功能的生成過濾裝置解決揮發(fā)性有機(jī)化合物和靜電感應(yīng)過濾箱。
四、氣體CPU。
新風(fēng)系統(tǒng)解決空調(diào)機(jī)組[Make-upAHUs]。典型的家用新風(fēng)系統(tǒng)解決了制冷機(jī)組(中低制冷機(jī)組)為呼吸系統(tǒng)制冷機(jī)組(二級(jí)制冷機(jī)組)提供必要的家用新風(fēng)系統(tǒng)問題。新風(fēng)系統(tǒng)由過濾排煙風(fēng)扇、軸流或plug離心風(fēng)扇加濾裝置、加熱和再熱開水風(fēng)扇盤管、制冷和除濕冷藏水風(fēng)扇盤管、蒸汽和隔熱空氣加濕器組成。附件和差異包括靜電感應(yīng)氣體切換閥、蒸汽加熱風(fēng)扇盤管、超聲空氣加濕器、鹽水、除濕用的即時(shí)交換[Dx]或乙二醇超低溫冷藏風(fēng)扇盤管、揮發(fā)性有機(jī)吸附過濾器、噪聲衰減器、VFP(DC變頻)驅(qū)動(dòng)器等。
多個(gè)循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)空調(diào)機(jī)組根據(jù)排風(fēng)管,再經(jīng)過ULPA過濾裝置或HEPA過濾裝置,將氣體送入潔凈室,在潔凈室等級(jí)為10級(jí)和1級(jí)的裝修吊頂上,這種過濾裝置一般為100百分比遮蓋。垂直單邊旋風(fēng)向下根據(jù)清潔室,穿過帶孔的防靜電地板磚進(jìn)入木地板下的送風(fēng)室內(nèi)空間,再根據(jù)垂直送風(fēng)夾道向上進(jìn)入裝修吊頂送風(fēng)靜壓箱。接著,氣體再次進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)空調(diào)機(jī)組,上部的氣體循環(huán)系統(tǒng)再次重復(fù)。若采用裝修吊頂離心風(fēng)機(jī)過濾裝置,則可在離心風(fēng)機(jī)過濾裝置上方裝修吊頂室內(nèi)空間時(shí),可安裝水或立即更換制冷[DX-coled]風(fēng)盤完成表面制冷。
五、氣體壓力差。
潔凈室的增加是必要的。其作用是確保潔凈室消除鄰近地區(qū)的環(huán)境污染,控制有害空氣污染物的流入,避免不同地區(qū)之間的交叉環(huán)境污染,并幫助保持規(guī)定的溫度和濕度水平。
許多微電子技術(shù)和光刻技術(shù)潔凈室都成功地選擇了被動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)氣壓操作,只有在大門全部打開的情況下,入口的排風(fēng)量才能保持在每分50-100英尺。有些生物醫(yī)藥公司規(guī)定主動(dòng)控制壓差,選擇補(bǔ)充新風(fēng)系統(tǒng)的方法,全自動(dòng)補(bǔ)充按門泄漏的氣體(當(dāng)門打開時(shí))。
六、溫度控制。
溫度和環(huán)境濕度的變化會(huì)引起生產(chǎn)線設(shè)備的偏差,危害加工過程的正確性,蕞后降低良品率,提高消耗。因此,潔凈室對(duì)溫度的嚴(yán)格控制規(guī)定是不言而喻的,這個(gè)費(fèi)用是必要的。
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